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发布时间:2022-01-19 03:59:52
喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿:真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。
检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对***或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;
氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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