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检漏步骤为：若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。

真空法检漏有何优点：真空法的优点是检测灵敏度高，可以***漏孔，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。真空法检漏缺点：真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能真实反映带压被检产品的真实泄漏状态。用途：真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

质谱检漏仪之间使用金属软管连接。检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；。

可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；。